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Low-E玻璃是在浮法玻璃基片表面上用磁控濺射的方法鍍制多層特殊的金屬、化合物薄膜及介質(zhì)膜,對遠(yuǎn)紅外光具有雙向阻隔作用,既可以減少太陽光產(chǎn)生的熱輻射進(jìn)入室內(nèi),又可以將室內(nèi)物體產(chǎn)生的熱能反射回來,從而降低玻璃的熱輻射通過量,具有其它節(jié)能玻璃所不具備的優(yōu)勢。該生產(chǎn)線主要由清洗系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、鍍膜系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)及控制系統(tǒng)組成。
主要性能特點
◆采用旋轉(zhuǎn)孿生靶中頻反應(yīng)濺射技術(shù),大大提高了介質(zhì)膜的沉積速率及膜層的均勻度和靶材利用率。
◆采用先進(jìn)的PEM閉環(huán)控制系統(tǒng),確保反應(yīng)濺射在金屬濺射的過渡區(qū),大大提高了反應(yīng)濺射的效率及膜層成分的準(zhǔn)確性。
◆每個濺射區(qū)根據(jù)靶材不同采用有效的氣體隔離,保證每個濺射區(qū)氣壓的穩(wěn)定性,工藝氣體純度及穩(wěn)定性。
◆過程控制采用進(jìn)口PLC及控制設(shè)備,系統(tǒng)通訊通過ControlNet網(wǎng)絡(luò)實現(xiàn)各設(shè)備間的信息交換,使整個系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單可靠。
◆采用光學(xué)在線檢測系統(tǒng),快速采集濺射過程基片的透射、反射光光譜等各種數(shù)據(jù)和曲線,并和設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)相比較,對濺射過程進(jìn)行有效控制。
生產(chǎn)線型號:
DXJLE-2436-28B-8 DXJLE-1824-28B-8
工件尺寸(mm):
W2400×L3660 W1830×L2440
備注:
生產(chǎn)線尺寸及配置可按客戶要求訂做